
Техническая документация, мануал, PDF
Не смогли найти, или требуется подобрать аналог из наличия — пришлите заявку
Описание, применение XLG-16
Пневмоклапан SMC XLG-16
Высоковакуумный L-тип клапан серии XLG
Области применения:
Пневмоклапан SMC XLG-16 предназначен для использования в высоковакуумных системах, а также для работы с инертными газами. Он широко применяется в:
- Полупроводниковой промышленности.
- Вакуумных установках для научных исследований.
- Медицинском оборудовании.
- Пищевой и фармацевтической промышленности (при использовании совместимых материалов).
- Автоматизированных производственных линиях.
Ключевые преимущества:
- Высокая надежность и долговечность
- 3 миллиона циклов (при соблюдении условий эксплуатации).
- Корпус из алюминиевого сплава A6063 с твердым анодированием, устойчивый к коррозии и износу.
- Критичные элементы выполнены из нержавеющей стали SUS304, что обеспечивает стойкость к агрессивным средам.
- Отличные вакуумные характеристики
- Проводимость: 5 л/с (для молекулярного потока).
- Минимальное давление: до 1×10⁻⁵ Па (абс).
- Низкая утечка: внутренняя и внешняя утечка не превышает 1.3×10⁻¹⁰ Па·м³/с (для стандартного материала FKM).
- Универсальность и гибкость
- Рабочая температура: от 5 до 60 °C.
- Двойное действие: управление открытием/закрытием с помощью пилотного давления.
- Простота обслуживания
- Конструкция предусматривает легкую замену уплотнений (O-колец) без полного демонтажа клапана.
Технические характеристики:
Параметр |
Значение для XLG-16 |
Размер фланца (клапана) |
KF 16 |
Тип привода |
Двойного действия |
Рабочая среда |
Вакуум, инертные газы |
Пилотное давление |
0.3–0.5 МПа |
Расход воздуха (0.5 МПа) |
38 см³/цикл |
Вес |
0.28 кг |
Материал уплотнения |
FKM (стандартно) |
Габариты (мм) |
40×110×38 (A×B×C) |

Просмотров: 128